特許
J-GLOBAL ID：200903016170776070
板状体の平坦度測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-144342
公開番号（公開出願番号）：特開2000-337845
出願日： 1999年05月25日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：
【要約】【課題】 不透明(砂地面)ガラスを撓ませることなく、非接触で正確に、板状体Wの平坦度を測定する。【解決手段】 X軸およびY軸方向に移動するテーブル19に板状体Wを着脱自在に固定する保持機構25を設け、ノズル40より流体を噴出して板状体Wとのギャップを一定の保持するノズル40と該ノズル40の位置を検出する電気マイクロメータ41を有するエアスケール29を設け、板状体Wの各測定位置における板状体Wの表面の高さを求めて板状体Wの平坦度を演算する制御・演算機構31を設けた。板状体Wの裏面側にノズル40と同一の流体圧を噴出し、ノズル40に相対する裏面側ノズル40aを設けるとよい。
請求項（抜粋）：
板状体を着脱自在に固定する保持機構を有するテーブルと、該テーブルをX軸およびY軸方向に走行駆動するテーブル駆動機構と、シリンダ内に挿入されるピストンの先端に流体を噴出するノズルを設け、該ノズルより噴出する流体圧により前記板状体とのギャップが一定となる前記ノズルの位置を計測する電気マイクロメータを設けたエアスケールと、前記テーブルのX軸およびY軸位置に対する前記ノズル位置を検出して板状体の平坦度を演算する制御・演算機構と、前記演算結果を表示する表示機構とを備えたことを特徴とする板状体の平坦度測定装置。
Fターム (16件)：
2F066AA35
, 2F066BB08
, 2F066CC40
, 2F066DD07
, 2F066DD10
, 2F066DD11
, 2F066DD20
, 2F066FF06
, 2F066FF17
, 2F066HH06
, 2F066HH10
, 2F066HH13
, 2F066JJ20
, 2F066KK00
, 2F066LL07
, 2F066MM05
