特許
J-GLOBAL ID：200903016181397348
イオン注入量計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-026777
公開番号（公開出願番号）：特開平7-235279
出願日： 1994年02月24日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 イオン注入装置において、負の電流も計測することができるイオン注入量計測装置を提供すること。【構成】 イオン注入量に応じた電流が流れるファラデ-ゲージ24と、このファラデ-ゲージ24に流れた電流を電圧に変換する電流電圧変換部34と、この電流電圧変換部34で変換された電圧に比例する電流に変換する電流変換部Riと、定電流を発生する定電流源と、この定電流源で発生した定電流と電流変換部Riで変換された電流とを加算した電流を電流値に応じた周波数に変換する周波数変換部35と、この周波数変換部35から出力されるパルス信号を計数することによりイオン注入量を計測する計測手段とから構成される。
請求項（抜粋）：
イオン注入量に応じた電流が流れるファラデ-と、このファラデ-に流れた電流を電圧に変換する電流電圧変換手段と、この電流電圧変換手段で変換された電圧に比例する電流に変換する電流変換手段と、定電流を発生する定電流源と、この定電流源で発生した定電流と上記電流変換手段で変換された電流とを加算した電流を電流値に応じた周波数に変換する周波数変換手段と、この周波数変換手段から出力されるパルス信号を計数することによりイオン注入量を計測する計測手段とを具備したことを特徴とするイオン注入量計測装置。
IPC (4件)：
H01J 37/317
, C23C 14/48
, G01T 1/29
, H01L 21/265
H01L 21/265 D
, H01L 21/265 T
