特許

J-GLOBAL ID：200903016182373094

湿度センサー及びその製造方法

発明者： 和田 正弘 ,  神田 栄子 ,  越村 正己
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-325496
公開番号（公開出願番号）：特開2003-130833
出願日： 2001年10月23日
公開日（公表日）： 2003年05月08日
要約：

【要約】【課題】 応答性に優れる。【解決手段】 セラミックス多孔質体10の両面に、薄膜状の電極を形成する。セラミックス多孔質体10を、平均細孔径0.05〜1μmの細孔を有するように微細粒子11が焼結されてなる骨格12間に、互いに連通する連続気孔13を形成した三次元網目構造とするとともに、その気孔率を60〜98容量%とする。セラミックス多孔質基体10の連続気孔13の平均気孔径を、50〜2000μmに設定する。

請求項（抜粋）：

平均細孔径0.05〜1μmの細孔を有するように微細粒子が焼結されてなる骨格間に、互いに連通する連続気孔が形成された三次元網目構造をなすとともに、その気孔率が60〜98容量%とされたセラミックス多孔質基体の表面に、薄膜状の電極を設けたことを特徴とする湿度センサー。

IPC (5件)：

G01N 27/12 ,  C04B 38/10 ,  C04B 41/85 ,  G01N 27/04 ,  G01W 1/11

FI (5件)：

G01N 27/12 J ,  C04B 38/10 L ,  C04B 41/85 C ,  G01N 27/04 B ,  G01W 1/11 E

Fターム (24件)：

2G046AA09 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BC04 ,  2G046BC05 ,  2G046DC13 ,  2G046EA02 ,  2G046EA04 ,  2G046EA09 ,  2G046EA18 ,  2G046FA02 ,  2G046FB02 ,  2G046FE10 ,  2G046FE20 ,  2G046FE35 ,  2G046FE44 ,  2G060AB02 ,  2G060AE19 ,  2G060AG06 ,  2G060AG11 ,  2G060BA01 ,  2G060BB09 ,  2G060HC06 ,  2G060JA02