エッチング液の能力回復維持装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：藤沢則昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-108837
公開番号（公開出願番号）：特開2000-303192
出願日： 1999年04月16日
公開日（公表日）： 2000年10月31日
要約：

【要約】【課題】陽極板表面に対しエッチング液を撹拌しつつ均一に接触させて反応速度を一様にし、塩素ガスの発生を抑制しつつ、電極板間に対する印加電圧を高くする。【解決手段】上部が開放された中空直方体形をなす電解槽1の幅方向の中央にイオン交換膜4を枠体5を介して配設し、電解槽1内を陽極室2と陰極室3とに区分し、陽極室2内に陽極板6を、また陰極室3内に陰極板8を配置すると共に、陰極室3内に陰極液を充たし、陽極室2内に、その下端の供給路22からエッチング液を流入させ、陽極板6に接触させつつ、上方に向けて流し、枠体5の上端部から一様にオーバーフローさせ、これに設けた受樋24内に均一に流出させる。

請求項（抜粋）：

イオン交換膜により仕切られた陽極室及び陰極室を備え、陽極室には陽極板を配置し、エッチング液を陽極室の下方から上方に向けて陽極板と接触させつつ通流させ、陽極室の上部より流出させるようにした処理槽を備えたエッチング液の能力回復維持装置において、前記エッチング液を、前記陽極板の少なくとも一面と対向する部分の陽極室を囲う壁の上端部から外部へ全幅に亘って均一にオーバーフローさせるようにしたことを特徴とする、エッチング液の能力回復維持装置。

IPC (3件)：

C23F 1/46 , H05K 3/06 , H01L 21/306

FI (3件)：

C23F 1/46 , H05K 3/06 Q , H01L 21/306 J

Fターム (14件)：

4K057WA18 , 4K057WA19 , 4K057WE08 , 4K057WH05 , 4K057WN01 , 5E339BE13 , 5E339BE16 , 5E339FF02 , 5E339FF10 , 5E339GG10 , 5F043AA22 , 5F043BB15 , 5F043EE33 , 5F043GG02

前のページに戻る