特許

J-GLOBAL ID：200903016182596000

三ふっ化窒素ガスの精製方法

発明者： 笠谷 尚史 ,  島田 孝 ,  村永 直樹
出願人/特許権者： 日本パイオニクス株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-093076
公開番号（公開出願番号）：特開平8-259206
出願日： 1995年03月27日
公開日（公表日）： 1996年10月08日
要約：

【要約】【目的】 三ふっ化窒素ガス中に含まれる不純物である水分を効率よく除去するとともに、精製筒出口ガス中の三ふっ化窒素ガスが短時間で入口ガスと同じ濃度に回復しうる精製方法を確立する。【構成】 三ふっ化窒素ガスを細孔径が3Å相当の合成ゼオライトと接触させて水分を除去する。

請求項（抜粋）：

三ふっ化窒素ガスを細孔径が3Å相当の合成ゼオライト系の吸着剤と接触させて、該三ふっ化窒素ガス中に含有される水分を除去することを特徴とする三ふっ化窒素ガスの精製方法。

IPC (3件)：

C01B 21/083 ,  B01D 53/02 ,  B01J 20/18

FI (3件)：

C01B 21/083 ,  B01D 53/02 Z ,  B01J 20/18 B