特許
J-GLOBAL ID：200903016189192842
位置検出装置及びそれを用いた位置検出方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奥山 尚男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-111762
公開番号（公開出願番号）：特開平11-304405
出願日： 1998年04月22日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：
【要約】【課題】 簡単な構成で安価なものでありながら、マークの位置を外乱の影響を受けずに高精度で検出することができ、しかもマークの1次元位置検出,2次元位置検出並びに3次元位置検出の全てを必要に応じて適宜に行なうことができるような位置検出装置及びそれを用いた位置検出方法を提供する。【解決手段】 等方性を有するセンサであってかつ互いに同じ若しくは類似の特性をもつ複数個のセンサ(例えば、渦電流検出センサ10a〜10d)を立体的に並べて配置した位置検出装置(センサユニット1)を用いる。
請求項（抜粋）：
等方性を有するセンサであってかつ互いに同じ若しくは類似の特性をもつ複数個のセンサを立体的に並べて配置したことを特徴とする位置検出装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01B 7/00 P
, G05D 1/02 J
, G05D 1/02 A
