特許
J-GLOBAL ID:200903016196928633

単結晶の分極検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-313232
公開番号(公開出願番号):特開平7-167843
出願日: 1993年12月14日
公開日(公表日): 1995年07月04日
要約:
【要約】【目的】 タンタル酸リチウムまたはニオブ酸リチウムの単結晶インゴットまたはウエハーを非破壊的に簡単かつ迅速に、それらが単一分域にあるか多分域にあるかを検査する方法を提供する。【構成】 単結晶に超音波を照射して、該結晶内を伝搬した後の伝搬損失量を測定し、該単結晶が単一分域あるいは多分域かを判断することを特徴とする単結晶の分極検査方法。
請求項(抜粋):
単結晶に超音波を照射して、該結晶内を伝搬した後の伝搬損失量を測定し、該単結晶が単一分域あるいは多分域かを判断することを特徴とする単結晶の分極検査方法。
IPC (2件):
G01N 29/20 ,  C30B 29/30
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭58-172545
  • 特開昭58-172545

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