特許
J-GLOBAL ID：200903016198900809
多結晶体の製造方法および製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-137426
公開番号（公開出願番号）：特開2000-332031
出願日： 1999年05月18日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：
【要約】【課題】 複数成分系の、とくに平衡蒸気圧が高い成分を含む単結晶をゾーンメルト法によって作製するにあたって必要な組成の均一性が高い多結晶体を作製する方法と装置を提供すること。【解決手段】 多結晶体の固体の原料を密封した石英るつぼ2に、原料の各温度における平衡蒸気圧に対応した圧力を印加し、原料を溶融するとともに、石英るつぼ2を揺動したり、回転する方法。加圧手段を備えた圧力容器3、その内部にヒーター1を有し、多結晶体の原料を収容し密封した石英るつぼ2に、原料の加熱過程の各温度における平衡蒸気圧に対応するように、予め設定した温度と圧力の関係を保持する制御システム11を備えている多結晶体製造装置。
請求項（抜粋）：
複数成分系の多結晶体を製造する方法において、該多結晶体の固体の原料をるつぼに密封し、該るつぼに、前記原料の各温度における平衡蒸気圧に対応した圧力を印加し、前記原料を溶融するとともに、前記るつぼを揺動し、または/および、回転することを特徴とする多結晶体の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/368 Z
, C01B 19/00
5F053AA16
, 5F053BB06
, 5F053BB13
, 5F053DD20
, 5F053FF04
, 5F053GG01
, 5F053GG02
, 5F053LL10
, 5F053PP08
, 5F053RR01
, 5F053RR12
