特許
J-GLOBAL ID：200903016200211455
静電容量式センサの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-085435
公開番号（公開出願番号）：特開平5-288623
出願日： 1992年04月07日
公開日（公表日）： 1993年11月02日
要約：
【要約】【目的】製造が容易で安価に出来、しかも電極間の間隔を精密に設定することの出来る静電容量式センサの製造方法を提供する。【構成】セラミックスの微小球4からなる粉体と、この粉体を分散させる機能と粉体同志および粉体と基板1と1'とを接着させる機能とを有する合成樹脂材5との混合物をスペーサ材として用い、加重をかけながら上記スペーサ材を乾燥固化することによって平板電極2と2'とを微小間隔で平行に保持する。従来よりも低温度で製造でき、かつ平板電極2と2'の間隙はほぼ微小球の粒径と同じになるので、偏差が著しく小さくなる。
請求項（抜粋）：
所定の間隙を有して平行に保持された2枚の平板電極からなり、外部から加えられた物理量に応じて上記電極間隙が変化するのに伴って生じる上記2枚の平板電極間の静電容量の変化を検出することにより、外部から加えられた物理量を検知する静電容量式センサにおいて、微小のセラミック球からなるセラミックス粉体と合成樹脂からなる接着剤とを混練して混合物とする工程と、表面に平板電極を形成した基板または平板電極自体の一部に上記混合物を所定形状で塗布する工程と、上記混合物の塗布された基板または平板電極と、混合物を塗布していない基板または平板電極とを、両平板電極が空隙を有して対向するように上記混合物を介して重ね合わせる工程と、所定の加重を加えながら所定の温度まで昇温して所定時間のあいだ保持することにより、上記混合物を乾燥固化させる工程と、を備えたことを特徴とする静電容量式センサの製造方法。
IPC (3件)：
G01L 9/12
, G01P 15/125
, H01L 29/84
