特許
J-GLOBAL ID：200903016200995022
ウエハパッキング装置及びウエハパッキング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浜本 忠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-332096
公開番号（公開出願番号）：特開平11-163091
出願日： 1997年12月02日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】 カセットケースとウエハ容器の相互へのウエハの移動及びウエハ容器への層間紙の出し入れのための装置の構成が簡単で、その制御系も簡単にできるようにする。【解決手段】 ウエハW1を収納するカセットケース2をセットする少なくとも1つのステーションと、ウエハを収納して移送するために用いられるウエハ容器3a,3bをセットする複数のステーションと、ウエハ容器内のウエハ間に入れる層間紙W2を収納する層間紙ストッカ3cをセットするステーションと、上記カセットケースとウエハ容器をセットするステーション間にわたって移動してカセットケースとウエハ容器の相互にわたってウエハを出し入れするウエハ搬送手段4と、層間紙ストッカとウエハ容器をセットするステーション間にわたって移動して層間紙をウエハ容器内に入れる層間紙搬送手段5とからなる構成となっている。
請求項（抜粋）：
ウエハを収納するカセットケースをセットする少なくとも1つのステーションと、ウエハを収納して移送するために用いられるウエハ容器をセットする複数のステーションと、ウエハ容器内のウエハ間に入れる層間紙を収納する層間紙ストッカをセットするステーションと、上記カセットケースとウエハ容器をセットするステーション間にわたって移動してカセットケースとウエハ容器の相互にわたってウエハを出し入れするウエハ搬送手段と、層間紙ストッカとウエハ容器をセットするステーション間にわたって移動して層間紙をウエハ容器内に入れる層間紙搬送手段とからなることを特徴とするウエハパッキング装置。
IPC (2件)：
H01L 21/68
, B65G 1/00 547
H01L 21/68 A
, B65G 1/00 547 Z
