特許
J-GLOBAL ID：200903016203883896

X線像撮像装置及びその製造方法

発明者：
宮口 和久

宮口 和久 について

, 
佐藤 宏人

佐藤 宏人 について


出願人/特許権者：
浜松ホトニクス株式会社

浜松ホトニクス株式会社 について


代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-373156
公開番号（公開出願番号）：特開2003-172782
出願日： 2001年12月06日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：
【要約】【課題】 ファイバオプティカルプレートを用いない構成を採用した場合においても、製造工程が煩雑となることなく、X線像撮像装置の小型化を図ることが可能なX線像撮像装置を提供すること。【解決手段】 X線遮蔽部材21は、CCDチップ3のX線入射方向前方に配設され、基台2に接着固定されている。X線遮蔽部材21には、CCDチップ3の受光部5に対応する位置に、この受光部5に向けてX線を入射させるための開口部22が設けられている。開口部22は、CCDチップ3の受光部5の外側領域、ボンディングワイヤ16、及び電極パッド14のX線入射方向前方に位置する部分よりも内側に形成されている。シンチレータ31は、X線遮蔽部材21がCCDチップ3のX線入射方向前方に配設された状態で、受光部5の表面上に成長、形成されている。シンチレータ31の表面には、保護膜32がコーティングされている。
請求項（抜粋）：
受光部を有する固体撮像素子と、前記固体撮像素子のX線入射方向前方に配設され、前記受光部に対応する位置に開口部が設けられているX線遮蔽部材と、前記X線遮蔽部材が前記固体撮像素子のX線入射方向前方に配設された状態で、前記受光部表面上に成長されたシンチレータと、を備えていることを特徴とするX線像撮像装置。
IPC (5件)：
G01T 1/20 ,  G01T 7/00 ,  H01L 27/14 ,  H01L 31/09 ,  H04N 5/32
FI (7件)：
G01T 1/20 E ,  G01T 1/20 G ,  G01T 7/00 B ,  H04N 5/32 ,  H01L 27/14 K ,  H01L 27/14 D ,  H01L 31/00 A
Fターム (50件)：
2G088EE01 ,  2G088FF02 ,  2G088GG19 ,  2G088GG20 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ10 ,  2G088JJ12 ,  2G088JJ29 ,  2G088JJ37 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA05 ,  4M118BA12 ,  4M118BA14 ,  4M118CA08 ,  4M118CA32 ,  4M118CB06 ,  4M118CB11 ,  4M118CB14 ,  4M118EA01 ,  4M118FA06 ,  4M118FB13 ,  4M118GA10 ,  4M118GB01 ,  4M118GB09 ,  4M118GD15 ,  4M118HA14 ,  4M118HA17 ,  4M118HA24 ,  4M118HA30 ,  4M118HA31 ,  4M118HA36 ,  5C024AX11 ,  5C024CY47 ,  5C024CY48 ,  5C024EX21 ,  5C024EX22 ,  5C024EX25 ,  5F088AA01 ,  5F088BA15 ,  5F088BA16 ,  5F088BA18 ,  5F088BB03 ,  5F088BB07 ,  5F088EA04 ,  5F088HA15 ,  5F088JA03 ,  5F088JA10 ,  5F088JA16 ,  5F088LA08
引用特許：
審査官引用 (2件)
  • 放射線検出器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-148294   出願人：浜松ホトニクス株式会社
  • X線パネルセンサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-199170   出願人：浜松ホトニクス株式会社

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