特許

J-GLOBAL ID：200903016211991240

ナノ構造材料を製造するための方法及び装置

発明者： パーカー,ジョン シー. ,  アリ,モハメド エヌ. ,  リンパニー,バイロン ビー.
出願人/特許権者： ナノフェイズ テクノロジーズ コーポレイション
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-505974
公開番号（公開出願番号）：特表平9-502920
出願日： 1994年07月26日
公開日（公表日）： 1997年03月25日
要約：

【要約】ナノ結晶性材料を合成するための方法及び装置。この装置は、チャンバー(14)と、酸化性気体は含まないが不活性気体を含む作用気体によって化学反応に対して遮蔽されている非消費性カソード(20)と、該カソードとの間に形成されるアークによって気化可能な消費性アノード(12)と、該アークの境界内に急冷及び反応気体の少なくとも一種を注入するためのノズル(35)とを含む。

請求項（抜粋）：

金属、半導体及びセラミックスから成る群より選ばれたナノ結晶性エアロゾルを発生させるための手段を保持するためのチャンバーを提供する工程と、 さらに、長手方向軸を有し、細長い電離アークを発生させる作用気体流によって化学反応から遮蔽されている非消費性カソードを提供する工程であって、前記作用気体流が気体水素及び気体窒素の少なくとも一方と不活性気体とを含む非酸化性気体から本質的に成る工程と、 さらに、前記細長い電離アークによって気化可能な物質を提供するための、前記カソードの長手方向軸に対してある角度で傾斜された消費性アノードを提供する工程と、 前記細長い電離アークの境界内部への急冷気体及び反応気体の少なくとも一方の注入を開始し、前記アークをいずれかの注入地点において切断させる工程と、 前記作用気体と前記急冷及び/又は反応気体を注入することにより前記カソードと前記アノードとの間で前記アークを維持し、よって化学量論的なナノ結晶性材料を形成させる工程とを含む、化学量論的ナノ結晶性材料を合成する方法。

IPC (3件)：

B01J 19/08 ,  B22F 9/14 ,  C01B 13/28

FI (3件)：

B01J 19/08 J ,  B22F 9/14 Z ,  C01B 13/28