特許
J-GLOBAL ID:200903016213761730
光学素子の温度制御装置及びレーザ発振器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山田 正紀 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-040974
公開番号(公開出願番号):特開平10-242546
出願日: 1997年02月25日
公開日(公表日): 1998年09月11日
要約:
【要約】【課題】本発明は、光学素子の温度を高温で制御でき、かつ0.1°C程度の高い温度制御性および安定性を有する小型の温度制御装置を提供すること、および出力安定性に優れたレーザ発振器を提供することを目的とする。【解決手段】ホルダ34の一方の伝熱部34aに抵抗発熱体として抵抗発熱線31が巻かれ、他方の伝熱部34bにペルチエ素子32が接着され、ホルダ34の中央部にある支持部34cに光学素子33が保持されており、ペルチェ素子32の出力が制御されることでホルダ34の温度勾配が制御される。
請求項(抜粋):
光学素子が支持された支持体と、融点が200°Cを超えるロウ材で接合された複数の構成部品を有し前記支持体の温度を制御することにより該支持体に支持された光学素子の温度を制御するペルチェ素子とを備えたことを特徴とする温度制御装置。
IPC (2件):
FI (2件):
H01S 3/02 Z
, G05D 23/20 A
引用特許:
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