特許
J-GLOBAL ID：200903016215621129
クリーンルーム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-342763
公開番号（公開出願番号）：特開平5-172378
出願日： 1991年12月25日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：
【要約】【目的】 エネルギー消費量の少ないクリーンルームの提供を目的とする。【構成】 上流側に送風機2と、送風機2の下流にフィルタ3と、フィルタ3の下流に通気孔を有する風量調整板5を少なくとも2枚と、風量調整板5の少なくとも1枚に当接する移動手段6と、下流側に排風機4と、排風機4の上流または下流に汚染濃度計測手段7と、送風機2と移動手段6と排風機4と、汚染濃度計測手段7を制御する制御部8とを備え、制御部8が移動手段6の移動量と送風機2および排風機4の電力とをファジィ制御規則として記憶するファジィ制御規則記憶部9,ファジィ制御推論部10および出力制御部11とからなるクリーンルーム。
請求項（抜粋）：
上流側に送風機と、その送風機の下流にフィルタと、そのフィルタの下流に通気孔を有する風量調整板を少なくとも2枚と、その風量調整板の少なくとも1枚に当接する移動手段と、下流側に排風機と、その排風機の上流または下流に汚染濃度計測手段と、上記送風機と移動手段と排風機と汚染濃度計測手段とを制御する制御部とを備え、その制御部が上記移動手段の移動量と送風機および排風機の電力とをファジィ制御規則として記憶するファジィ制御規則記憶部、ファジィ制御推論部および出力制御部とからなるクリーンルーム。
IPC (2件)：
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