特許

J-GLOBAL ID：200903016221884034

チタン酸ランタンビスマス形成用前駆体溶液組成物

発明者： 山手 拓
出願人/特許権者： 関東化学株式会社
代理人 (1件)： 葛和 清司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-311869
公開番号（公開出願番号）：特開2002-121025
出願日： 2000年10月12日
公開日（公表日）： 2002年04月23日
要約：

【要約】【課題】 良好な強誘電性を示すチタン酸ランタンビスマス膜を、実用的で安価に形成できる薄膜形成用前駆体溶液組成物を提供する。【解決手段】 下記一般式(1)で表わされる化合物及び一般式(2)で表される化合物:NH3-n(C2H4OH)n (1)(式中nは2又は3を表わす)NH2(C2H4NH)mH (2)(式中mは2又は3を表わす)からなる群から選択される1又は2種以上の化合物とビスマス化合物、チタン化合物、ランタン化合物および有機溶剤を含有することを特徴とするチタン酸ランタンビスマス形成用前駆体溶液組成物を得る。

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)で表わされる化合物及び一般式(2)で表される化合物:NH3-n(C2H4OH)n (1)(式中nは2又は3を表わす)NH2(C2H4NH)mH (2)(式中mは2又は3を表わす)からなる群から選択される1又は2種以上の化合物とビスマス化合物、チタン化合物、ランタン化合物および有機溶剤を含有することを特徴とするチタン酸ランタンビスマス形成用前駆体溶液組成物。

IPC (3件)：

C01G 29/00 ,  H01L 27/105 ,  H01L 41/24

FI (3件)：

C01G 29/00 ,  H01L 27/10 444 C ,  H01L 41/22 A

Fターム (8件)：

4G048AA02 ,  4G048AC01 ,  4G048AC02 ,  4G048AC08 ,  5F083JA17 ,  5F083JA38 ,  5F083JA39 ,  5F083PR34