搬送システム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯田昭夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-162952
公開番号（公開出願番号）：特開2000-353730
出願日： 1999年06月09日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
要約：

【要約】【課題】ティーチングを行わなくても搬送ロボットをカセットステーションなどステーションに正対させることが可能な搬送システムを提供すること。【解決手段】Y軸ライン1上を走行する搬送ロボット2をカセットステーション31 、32 に正対させ(厳密には、カセット41 〜44 に正対させ)、該正対状態の下で該カセット41 〜44 に対して半導体ウエハ5を搬入、搬出させる搬送システムにおいて、Y軸ライン1上において搬送ロボット2がカセット41 〜44 に正対する位置を検出する停止位置センサ61 〜64 と、Y軸ライン1上において正対位置を中心とする両側の位置を検出する減速位置センサ71 〜78 とを設け、減速位置センサ71 〜78 の検出信号により、搬送ロボット2の走行速度を減速し、停止位置センサ61 〜64 の検出信号により、減速後の搬送ロボット2を停止するよう構成される。

請求項（抜粋）：

所定のライン上を走行する搬送ロボットをステーションに正対させ、該正対状態の下で該ステーションに対して搬送物を搬入、搬出させる搬送システムにおいて、前記ライン上において前記搬送ロボットが前記ステーションに正対する位置を検出する停止位置センサと、前記ライン上において前記正対位置を中心とする両側の位置のうち少なくとも一方の位置を検出する減速位置センサとを設け、前記減速位置センサの検出信号により、前記搬送ロボットの走行速度を減速し、前記停止位置センサの検出信号により、前記減速後の搬送ロボットを停止するよう構成されることを特徴とする搬送システム。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B25J 9/10 , B65G 49/07

FI (3件)：

H01L 21/68 A , B25J 9/10 A , B65G 49/07 C

Fターム (18件)：

3F059AA01 , 3F059BA04 , 3F059BB05 , 3F059DA02 , 3F059DC08 , 3F059DD12 , 3F059DD18 , 3F059DE06 , 3F059FB00 , 3F059FB01 , 3F059FC02 , 5F031CA02 , 5F031FA11 , 5F031GA43 , 5F031GA48 , 5F031JA14 , 5F031JA45 , 5F031PA02

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