特許

J-GLOBAL ID：200903016226806163

アダマンタン樹脂及びそれを用いる絶縁膜形成用塗布液

発明者： 国見 信孝 ,  吉田 祐司
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (3件)： 久保山 隆 ,  中山 亨 ,  榎本 雅之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-374028
公開番号（公開出願番号）：特開2004-204010
出願日： 2002年12月25日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：

【課題】比誘電率が低く、耐熱性に優れた絶縁膜を製造し得るアダマンタン樹脂を提供する。【解決手段】式(2)で示されるアダマンタン化合物の少なくとも1種と、式(1)で示されるアダマンタン化合物の少なくとも1種及び/又は式(3)で示されるアダマンタン化合物の少なくとも1種とからなる混合物を重合して得られるアダマンタン樹脂。(式中、B1、B2及びB3は、直接結合、アルキレン基、アルケニレン基又はアルキニレン基を表わし、Ar1、Ar2及びAr3は、三価以上の芳香族環を表わし、Ar4及びAr5は、アリール基を表わし、Y1及びY2は、アルケニル基又はアルキニル基を表わし、Y3及びY4は、アルケニレン基又はアルキニレン基を表わし、a及びdは、2〜5の整数を表わし、b及びcは、各々1〜4の整数を表わすが、b+cは2以上5以下である。)【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

式(2)で示されるアダマンタン化合物の少なくとも1種と、式(1)で示されるアダマンタン化合物の少なくとも1種及び/又は式(3)で示されるアダマンタン化合物の少なくとも1種とからなる混合物を重合して得られることを特徴とするアダマンタン樹脂。

IPC (4件)：

C08F38/00 ,  C08F12/02 ,  H01L21/312 ,  H01L21/768

FI (5件)：

C08F38/00 ,  C08F12/02 ,  H01L21/312 A ,  H01L21/90 Q ,  H01L21/90 S

Fターム (19件)：

4J100AB07 ,  4J100AT05 ,  4J100BC09 ,  4J100BC43 ,  4J100CA01 ,  4J100CA03 ,  4J100DA55 ,  4J100DA57 ,  4J100HA53 ,  4J100JA01 ,  4J100JA44 ,  5F033RR21 ,  5F033SS22 ,  5F058AA10 ,  5F058AC10 ,  5F058AD09 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AH02