硬質炭素膜被覆部材およびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-061033
公開番号（公開出願番号）：特開平7-267763
出願日： 1994年03月30日
公開日（公表日）： 1995年10月17日
要約：

【要約】【目的】硬質炭素膜と基体との付着力を向上することができる硬質炭素膜被覆部材およびその製造方法を提供する。【構成】基体表面に硬質炭素膜を被覆してなる硬質炭素膜被覆部材において、硬質炭素膜の基体側の面に凹部を有するものであり、凹部の最深部の平均径が0.05〜3μmであることが望ましい。このような硬質炭素膜被覆部材は、反応室内に原料ガスを導入し、気相合成法により基体表面に硬質炭素膜を成膜する硬質炭素膜被覆部材の製造方法において、核発生後に反応室内にさらに酸素含有ガスを導入し、少なくとも基体表面をエッチングすることにより作製される。

請求項（抜粋）：

基体表面に硬質炭素膜を被覆してなる硬質炭素膜被覆部材において、前記硬質炭素膜の前記基体側の面に凹部を有することを特徴とする硬質炭素膜被覆部材。

IPC (6件)：

C04B 41/87 , B32B 3/30 , B32B 9/00 , B32B 15/04 , C23C 16/26 , C30B 29/04

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