特許
J-GLOBAL ID：200903016228723290
多層膜厚さ基準物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内田 敏彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-200085
公開番号（公開出願番号）：特開平6-218870
出願日： 1992年06月16日
公開日（公表日）： 1994年08月09日
要約：
【要約】【目的】 ナノメータオーダの厚さ基準物を提供し、原子間力顕微鏡(AFM)等の物質表面形状を観察する際の厚さ基準物とする。【構成】 表面の凹凸が50Å以下で平坦な基板2上に有機層3と無機層4とをそれぞれ2〜200Åで交互に周期的に積層し、部分的に基板界面から剥離したものを多層膜厚さ基準物5とする。
請求項（抜粋）：
平坦な基板上に有機層と無機層とをそれぞれ2〜200Åで交互に周期的に積層し、部分的に基板界面から剥離された箇所のあることを特徴とする多層膜厚さ基準物。
IPC (2件)：
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