透過型電子顕微鏡の撮影装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-107443
公開番号（公開出願番号）：特開2000-299077
出願日： 1999年04月15日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：

【要約】【課題】電子顕微鏡像のフイルム撮影における撮影条件を、TVカメラによるTEM像と同時に自動的に記録保存することのできる電子顕微鏡の撮影装置を提供すること。【解決手段】試料を透過した電子線による試料像をフイルム撮影する第1の撮影手段と、電子線通路にテレビカメラを配置して撮影した試料像の像データを撮影条件と共に記録する第2の撮影手段と、撮影を指令する指令手段とを備え、該撮影指令手段により撮影が指令されると、前記第1の撮影手段による撮影と第2の撮影手段による撮影を前後してそれぞれ行うと共に、前記第2の撮影手段による撮影の際に前後して行われる第1の撮影手段による撮影に関する識別情報を併せて記録するようにしたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

試料を透過した電子線による試料像をフイルム撮影する第1の撮影手段と、電子線通路にテレビカメラを配置して撮影した試料像の像データを撮影条件と共に記録する第2の撮影手段と、撮影を指令する指令手段とを備え、該撮影指令手段により撮影が指令されると、前記第1の撮影手段による撮影と第2の撮影手段による撮影を前後してそれぞれ行うと共に、前記第2の撮影手段による撮影の際に前後して行われる第1の撮影手段による撮影に関する識別情報を併せて記録するようにしたことを特徴とする透過型電子顕微鏡の撮影装置。

IPC (2件)：

H01J 37/22 501 , H01J 37/22

FI (2件)：

H01J 37/22 501 D , H01J 37/22 501 C

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