特許

J-GLOBAL ID：200903016232285043

固体表面観察装置と固体表面観察方法

発明者： 日下 貴生
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-198841
公開番号（公開出願番号）：特開2003-014671
出願日： 2001年06月29日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
要約：

【要約】【課題】光電子像と陰極線ルミネッセンス像を試料表面の同一位置において相補的に観察できる固体表面観察装置を提供する。【解決手段】電子線発生部と、試料表面に電子線照射をするときには、電子線を試料表面に集束し走査する手段として働き、電子線照射以外の方法によって試料表面からの電子を放出するときには放出電子を結像する手段として働く電子レンズ系と、結像面での電子強度分布を検出する電子強度分布検出部と、試料表面へ光を照射する際には、照射すべき光を受光して試料表面に集光し、かつ、ルミネッセンス分析を行う際には、陰極線ルミネッセンス光を集光する集光手段と、試料を載置する試料ステージと、集光されたルミネッセンス光を分光検出するルミネッセンス光検出部と、試料表面から放出された二次電子を検出する2次電子検出手段を有する。電子レンズ系は、同一の光軸を有する電子レンズ系によって構成されている。

請求項（抜粋）：

電子線を発生する手段と、前記電子線を試料表面に集束し走査する手段と、試料表面から放出された2次電子を検出する手段と、検出された2次電子の信号強度を前記電子線走査と同期して表示する手段をもち、かつ、紫外線照射装置と、試料に紫外線を集光照射する手段と、試料から放出された光電子を結像する手段と、結像面での電子強度分布を検出する手段と、検出された強度信号を表示する手段を有し、更に、試料表面への電子線照射により試料表面から放出されたルミネッセンス光を集光する手段と、ルミネッセンス光を分光検出する手段と、その検出強度を前記電子線走査と同期して表示する手段を有することを特徴とする固体表面観察装置。

IPC (8件)：

G01N 23/225 ,  G01N 21/62 ,  G21K 5/00 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/252 ,  H01J 37/256 ,  H01J 37/285

FI (8件)：

G01N 23/225 ,  G01N 21/62 A ,  G21K 5/00 Z ,  G21K 5/04 M ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/252 Z ,  H01J 37/256 ,  H01J 37/285

Fターム (34件)：

2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001BA08 ,  2G001CA03 ,  2G001CA07 ,  2G001DA09 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001HA09 ,  2G001HA13 ,  2G001PA11 ,  2G001PA12 ,  2G043AA03 ,  2G043CA05 ,  2G043EA01 ,  2G043EA11 ,  2G043FA01 ,  2G043FA02 ,  2G043GA04 ,  2G043GB17 ,  2G043GB18 ,  2G043HA03 ,  2G043JA01 ,  2G043KA01 ,  2G043KA02 ,  2G043KA03 ,  2G043LA03 ,  5C033NN01 ,  5C033NN10 ,  5C033NP02 ,  5C033NP08 ,  5C033RR01 ,  5C033RR03 ,  5C033RR09