特許
J-GLOBAL ID：200903016234397043
レジスト処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-321475
公開番号（公開出願番号）：特開平7-176588
出願日： 1993年12月21日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、レジスト処理終了から搬出開始までの搬送ロボットの到着待ち時間をなくすことにより、処理全体の時間の短縮化を図る。【構成】 あるレジスト処理部によるウエハのレジスト処理が開始される際、ウエハの処理終了時間から搬送ロボット(16)の移動時間を差引いた値となるようにウエハの処理終了予告時間を算出する終了予告時算出手段(12)と、ウエハのレジスト処理の開始と共に、レジスト処理の経過時間を計数する経過時間計数手段(13)と、終了予告時算出手段により算出された処理終了予告時間及び経過時間計数手段により計数された経過時間を比較し、両者が一致したとき、あるレジスト処理部に対応して終了予告フラグを立てる終了予告手段(14)と、この終了予告手段により終了予告フラグが立てられたのに基づき、搬送ロボットをあるレジスト処理部に移動させる搬送制御手段(17)とを設けたレジスト処理装置。
請求項（抜粋）：
ウエハを搬送する搬送ロボット及び互いに異なるレジスト処理を施す複数の種類のレジスト処理部を備え、前記搬送ロボットが前記ウエハを該当するレジスト処理部に搬入すると共に、このレジスト処理部によるレジスト処理の終了したウエハを前記搬送ロボットが当該レジスト処理部から搬出し、前記搬入から搬出までの工程を他の種類のレジスト処理部についても実行することにより、前記ウエハに各種のレジスト処理を施すレジスト処理装置において、あるレジスト処理部による前記ウエハのレジスト処理が開始される際、当該ウエハの処理終了時間から少なくとも前記搬送ロボットの移動時間を差引いた値となるように前記ウエハの処理終了予告時間を算出する終了予告時算出手段と、前記あるレジスト処理部による前記ウエハのレジスト処理の開始と共に、当該レジスト処理の経過時間を計数する経過時間計数手段と、前記終了予告時算出手段により算出された前記処理終了予告時間及び前記経過時間計数手段により計数された経過時間を比較し、両者が一致したとき、前記あるレジスト処理部に対応して終了予告フラグを立てる終了予告手段と、この終了予告手段により前記終了予告フラグが立てられたのに基づき、前記搬送ロボットを前記あるレジスト処理部に移動させる搬送制御手段とを設けたことを特徴とするレジスト処理装置。
IPC (2件)：
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