光導波路

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：雨宮正季
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-351761
公開番号（公開出願番号）：特開平6-174956
出願日： 1992年12月08日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：

【要約】【目的】段差のない平坦性に優れたクラッド層を持ち、加工性に優れた光導波路を提供する。【構成】光導波路のクラッド部Gに屈折率を1.40〜1.62の範囲で制御できかつ無溶剤で塗布可能な紫外線硬化樹脂または熱硬化樹脂を用いることを特徴とする。【効果】溶媒を用いないクラッド材を使用するために導波路形成工程が間略化され、また平坦化できるため多層の光配線が可能な光導波路を実現できる。

請求項（抜粋）：