特許

J-GLOBAL ID：200903016238433966

変位検出装置及びその表面処理方法

発明者： 中山 賢一
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-339449
公開番号（公開出願番号）：特開2002-148002
出願日： 2000年11月07日
公開日（公表日）： 2002年05月22日
要約：

【要約】【課題】 小型化に対応できる配線基板構造を持つ変位検出装置を提供する。【解決手段】 スルーホール24を介して接続される送信電極22と信号配線23が両面に形成されたプリント配線基板20を用いて構成される読み出しヘッド2の両面に、樹脂シート31a,31bを配置し、加熱加圧して、スルーホール24を樹脂で埋め込むと同時に表面を平坦化する。

請求項（抜粋）：

第1の部材と第2の部材の相対移動により変位検出を行う変位検出装置において、前記第1の部材と第2の部材の少なくとも一方は、配線が形成された配線基板と、この配線基板の少なくとも一方の表面に凹凸を埋めて表面が平坦になるように加圧して積層された樹脂シートと、を有することを特徴とする変位検出装置。

IPC (3件)：

G01B 7/00 ,  G01D 5/245 ,  G01D 5/245 101

FI (6件)：

G01B 7/00 B ,  G01B 7/00 D ,  G01B 7/00 K ,  G01D 5/245 X ,  G01D 5/245 C ,  G01D 5/245 101 Z

Fターム (21件)：

2F063AA02 ,  2F063CA08 ,  2F063DA05 ,  2F063EA02 ,  2F063GA01 ,  2F063GA61 ,  2F063GA79 ,  2F063HA00 ,  2F063HA09 ,  2F063HA10 ,  2F063KA02 ,  2F077AA21 ,  2F077CC02 ,  2F077NN05 ,  2F077NN14 ,  2F077NN16 ,  2F077PP01 ,  2F077PP06 ,  2F077VV01 ,  2F077VV33 ,  2F077WW04