特許

J-GLOBAL ID：200903016241149551

反射照明装置

発明者： 中根 邦雄
出願人/特許権者： 株式会社ニコンエンジニアリング ,  株式会社ニコン
代理人 (1件)： 市村 健夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-032037
公開番号（公開出願番号）：特開平7-218991
出願日： 1994年02月04日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：

【要約】【目的】 廉価な部品を使用した、簡単小型の機構の照明傾角可変式反射照明装置を提供する。【構成】 照明光L1は、多重焦点レンズ13を透過屈折して被検物5を照明する。多重焦点レンズ13の焦点距離は、対物レンズ1の光軸から半径方向に一定でなく、半径方向の距離に従い変化しているから、多重焦点レンズ13が光軸方向に移動すると、照明光L1が被検物5を照明する傾角θが変化する。

請求項（抜粋）：

対物レンズの光軸に対して斜めに照明光を被検物に放射する斜光照明器と、前記照明光を屈折する多重焦点レンズと、前記斜光照明器と前記多重焦点レンズとの相対的位置を変更する位置変更手段とを具備し、前記位置変更手段により前記斜光照明器と前記多重焦点レンズとの相対的位置を変更して、前記対物レンズの光軸と前記被検物を照明する前記照明光の光路とのなす照明角度を変化させることを特徴とする反射照明装置。

IPC (4件)：

G03B 15/02 ,  F21V 7/10 ,  G02B 26/08 ,  G02B 27/00

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 照明装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-129081   出願人：株式会社トプコン