特許
J-GLOBAL ID：200903016257593877
走査型トンネル顕微鏡
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-194388
公開番号（公開出願番号）：特開平7-049352
出願日： 1993年08月05日
公開日（公表日）： 1995年02月21日
要約：
【要約】【構成】 走査型トンネル顕微鏡用探針を中空構造とし、その中に異種の材料を装填したものを用い、探針を加熱し、探針に注入された異種材料を選択的に融解し、探針自身を試料に接触させるか、原子を蒸発させることで、試料表面に原子を付着させる。
請求項（抜粋）：
トンネル電流を検出する中空構造の探針と、該探針の中空構造内に充填され、探針材料とは異なる材質の充填材料と、前記探針近傍に配置された加熱ヒータとを備えてなることを特徴とする走査型トンネル顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G02B 21/00
, G01B 7/34
