特許
J-GLOBAL ID：200903016258765051
試料検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-037076
公開番号（公開出願番号）：特開平6-250093
出願日： 1993年02月25日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：
【要約】【目的】 同時に異なる倍率の試料の像を得ることができる試料検出装置を提供する。【構成】 試料から入射された光は対物レンズ41を通ってビームスプリッタ42,43で3本の光路に分けられる。ビームスプリッタ42で分岐された光はミラー44で反射されて凸レンズ45aを経て高倍率像としてTVカメラ14aで撮像される。ビームスプリッタ42、43を直進した光はTVカメラ14bに入射し、中倍率画像として検出される。ビームスプリッタ43で分岐された光はミラー46で反射され、凹レンズ47bを経てTVカメラ14cに入射され、低倍率画像として検出される。
請求項（抜粋）：
試料を載置する手段と、前記載置手段に対向して設けられ、前記試料の像を形成するための光学系と、前記光学系によって形成される光学経路を複数の経路に分岐するための分岐手段と、前記分岐手段によって分岐された複数の光学経路上に設けられ、各々が相互に異なる倍率で前記試料の像を検出する複数の検出手段とを含む、試料検出装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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