特許

J-GLOBAL ID：200903016258774328

ブラックマトリックスを形成するための遮光膜および遮光膜形成用スパッタリングターゲット

発明者： 三橋 章 ,  野口 昌利 ,  北村 英男 ,  金子 憲史 ,  菅原 克生
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 富田 和夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-127317
公開番号（公開出願番号）：特開2001-311805
出願日： 2000年04月27日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
要約：

【要約】【課題】液晶ディスプレーなどのカラーパネルを構成するブラックマトリックスを形成するための遮光膜およびその遮光膜を形成するためのスパッタリングターゲットを提供する。【解決手段】NiおよびPdの内の1種または2種を合計で0.3〜3.0%を含有し、さらに必要に応じてMo、VおよびAlの内の1種または2種以上を合計で2〜10%を含有し、残りがTiおよび不可避不純物からなる組成を有するTi基合金で構成された遮光膜およびその遮光膜を形成するためのスパッタリングターゲット。

請求項（抜粋）：

質量%で(以下%は質量%を示す)、NiおよびPdの内の1種または2種を合計で0.3〜3.0%を含有し、残りがTiおよび不可避不純物からなる組成を有することを特徴とするブラックマトリックスを形成するための遮光膜。

IPC (5件)：

G02B 5/00 ,  C23C 14/14 ,  C23C 14/34 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 500

FI (5件)：

G02B 5/00 B ,  C23C 14/14 D ,  C23C 14/34 A ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 500

Fターム (21件)：

2H042AA09 ,  2H042AA15 ,  2H042AA26 ,  2H048BA11 ,  2H048BB01 ,  2H048BB42 ,  2H091FA02Y ,  2H091FA35Y ,  2H091FB08 ,  2H091LA30 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA01 ,  4K029BA03 ,  4K029BA11 ,  4K029BA12 ,  4K029BA17 ,  4K029BC07 ,  4K029BD09 ,  4K029DC04 ,  4K029DC08