特許

J-GLOBAL ID：200903016262122661

デバイス製造装置および方法

発明者： 岡部 哲夫
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-330949
公開番号（公開出願番号）：特開平8-161008
出願日： 1994年12月09日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：

【要約】【目的】 装置にエラーが発生した際にオペレータに適切な対処方法をすみやかに伝え、迅速な対応ができるようにする。【構成】 デバイス製造装置に、表示手段102と、該装置停止の原因毎に所望の対処方法を入力する手段104と、入力された対処方法を記憶する記憶手段332と、装置停止停止時その原因に対応する前記対処方法を前記記憶手段から読み出して前記表示手段上に表示する処理手段331とを具備させる。

請求項（抜粋）：

表示手段と、装置停止の原因毎に所望の対処方法を入力する手段と、入力された対処方法を記憶する記憶手段と、装置停止停止時その原因に対応する前記対処方法を前記記憶手段から読み出して前記表示手段上に表示する処理手段とを具備することを特徴とするデバイス製造装置。

IPC (3件)：

G05B 19/048 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G05B 19/05 D ,  H01L 21/30 502 G ,  H01L 21/30 516 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 監視方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-186330   出願人：株式会社東芝
• 特開平2-158805
  
• 特開平3-154847