特許

J-GLOBAL ID：200903016277889063

熱交換機

発明者： タイバー・ルイ・バウアー ,  ウィリアム・アルバート・キャヴァリエール ,  チャールズ・リチャード・ダート・ザセカンド ,  ティモシー・ハリソン・フリーバーン ,  デーヴィッド・クライド・リネル ,  ジェームズ・エム・ミラー ,  ジン・ジュワン・ウー
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 合田 潔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-104216
公開番号（公開出願番号）：特開平7-019765
出願日： 1994年05月18日
公開日（公表日）： 1995年01月20日
要約：

【要約】【目的】 表面洗浄用の低温エアロゾルを生成するために使用されるそこを通過する気体の大部分を気相に保ち、かつ気体から不純物を凝縮によって除去するための熱交換機を提供すること。【構成】 熱交換機は、ハウジングと、ハウジング内に取り付けられた固体材料からなるタンクと、タンクの温度を制御するための温度制御手段と、タンクと物質の間での熱的接触を可能にしてタンクから物質へのエネルギーの伝達を実施し物質の温度を調節するためのエネルギー交換手段とを含む。

請求項（抜粋）：

ハウジングと、前記ハウジング内に取り付けられた固体材料からなるタンクと、前記タンクの温度を制御するための温度制御手段と、前記タンクと物質との間での熱的接触を可能にして前記タンクから物質へのエネルギーの伝達を実施し物質の温度を調節するためのエネルギー交換手段とを具備する、熱交換機。

IPC (4件)：

F28D 1/06 ,  H01L 21/304 341 ,  B05C 11/10 ,  B08B 7/02

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特表昭60-502166
  
• 特開平3-247966
  
• 特開昭62-286733
  
• 特開昭62-028599