結晶化膜の形成方法及びその装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：前田宏之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-230095
公開番号（公開出願番号）：特開2006-049656
出願日： 2004年08月06日
公開日（公表日）： 2006年02月16日
要約：

【課題】レーザ光源は、拡がり角を有する光線束を射出するため、アレイレンズの1つのレンズ部分には、光路差生起部材の複数の段差部分を透過したレーザ光が入射し、被照明物体に結像するとき、干渉することを免れ得ない。【解決手段】拡がり角θを有する光線束としてのレーザ光1を射出するレーザ光源Aに対し、一側面視でレーザ光1を複数に分割・縮小して分割光線9となした後、各分割光線9を個別の縮小光線束にして縮小分割光線10を得る分割・縮小手段(2,3)と、各縮小分割光線10を分割面側での反射を低減させて個別に透過させ、コヒーレント性を調節するように相互に光路差を生起させるブロック部7aを備える光路差生起部材7と、光路差生起部材7を透過した縮小分割光線10を集光させる集光レンズ5とを備えさせ、集光レンズ5を透過させて重畳したレーザ光によつて被照射面6を照明させる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

拡がり角(θ)を有する光線束としてのレーザ光(1)を射出するレーザ光源(A)に対し、一側面視で、複数のシリンドリカルレンズ(2a)からなる第1のアレイレンズ(2)、複数のシリンドリカルレンズ(3a)からなる第2のアレイレンズ(3)、光路差を与える複数のブロック部(7a)を備える光路差生起部材(7)、集光レンズ(5)及び被照射面(6)を順次に配置し、レーザ光源(A)から射出されるレーザ光(1)を第1のアレイレンズ(2)に透過させ、第1のアレイレンズ(2)の幅(d)を有する隣接するシリンドリカルレンズ(2a)の個数に応じた複数の縮小させた分割光線(9)を得、該分割光線(9)を第2のアレイレンズ(3)の対応するシリンドリカルレンズ(3a)に個別に透過させて第1のアレイレンズ(2)のシリンドリカルレンズ(2a)の幅(d)よりも狭幅に縮小させた複数の縮小分割光線(10)を得た後、各縮小分割光線(10)を光路差生起部材(7)の対応するブロック部(7a)を分割面側での反射を低減させて個別に透過させ、コヒーレント性を調節するように縮小分割光線(10)相互に光路差を生起させた後、各縮小分割光線(10)を集光レンズ(5)によつて重畳して被照射面(6)に照射させることを特徴とする結晶化膜の形成方法。

IPC (4件)：

H01L 21/20 , B23K 26/00 , B23K 26/067 , H01L 21/268

FI (4件)：

H01L21/20 , B23K26/00 E , B23K26/067 , H01L21/268 J

Fターム (9件)：

4E068AH00 , 4E068CA04 , 4E068CD04 , 4E068CD13 , 4E068DA10 , 5F052AA02 , 5F052BB02 , 5F052BB07 , 5F052DA02

引用特許：

出願人引用 (2件)

特公昭62-25483号公報
特公平7-21583号公報

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