特許
J-GLOBAL ID：200903016279079859
細線の微細欠陥検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武田 元敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-186744
公開番号（公開出願番号）：特開平6-034572
出願日： 1992年07月14日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：
【要約】【目的】 装置の簡素化と処理時間の短縮化をはかり、被測定物の全長にわたり微細欠陥を簡単に検査する。【構成】 レーザー光源2からレーザー光が出射され走査照射光学系のポリゴンミラー9,レンズ群3により、一定の長さの細線の被測定物1の全長にわたり照射する。レーザー光は被測定物により散乱され、この時の0次回折光は遮光板6で遮光される。そして被測定物により散乱されたレーザー光は集光レンズ4によりテレビカメラ5の撮像面に画像の回折パターンとして縮小結像される。この散乱光による画像の回折パターンを映像信号として画像認識装置8で処理され、モニターテレビ7に送られ、欠陥が検出される。
請求項（抜粋）：
一定の長さ細線でなる被測定物にレーザー光を照射することにより形成される回折パターンを観測する細線の微細欠陥検査装置において、レーザー光を前記被測定物の全長にわたり走査する機構と、前記被測定物を通過した散乱光以外のレーザー光を遮光する遮光板と、散乱光による回折パターンの乱れを検出する光学系と、この回折パターンの乱れを認識し細線の欠陥を検出する画像認識装置を備えたことを特徴とする細線の微細欠陥検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/89
, G01N 21/47
, H04N 7/18
