特許

J-GLOBAL ID：200903016280919542

照明装置及びこれを適用した欠陥検査装置

発明者： 小川 智代 ,  後藤 幸博 ,  太田 香織里
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-234971
公開番号（公開出願番号）：特開平9-133636
出願日： 1996年09月05日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：

【要約】【課題】本発明は、微細化パターンであっても欠陥からの散乱光の感度を高くして確実に欠陥を検出する。【解決手段】4本の光ファイバー束22a〜22dによる照射角を半導体ウエハ14の表面14aに対して10°〜20°の角度に配置したので、半導体ウエハ14そのものからの散乱光の光量を低く抑えら、欠陥部分からの散乱光の光量を相対的に大きくして、結果として感度を高くできる。

請求項（抜粋）：

表面に少なくとも一方向に微細なパターンが配列された対象物に対して照明を行う照明装置において、前記対象物の表面に対しての仰角xが10°≦x<20°で、かつ前記パターンの配列方向及び前記パターンのエッジ方向と異なる方向から拡散光を照射する照射光学系、を備えたことを特徴とする照明装置。

IPC (4件)：

G01N 21/88 ,  G01N 21/84 ,  G06T 7/00 ,  G06T 1/00

FI (4件)：

G01N 21/88 E ,  G01N 21/84 E ,  G06F 15/62 405 A ,  G06F 15/64 320 C