特許
J-GLOBAL ID：200903016287576870
板状部材保持装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-352227
公開番号（公開出願番号）：特開平11-165868
出願日： 1997年12月06日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：
【要約】【課題】 ウェーハなどのように薄くて軽量の板状部材を傷つけたり汚れを付着させたりすることなく確実に保持することができる板状部材保持装置を提供すること。【解決手段】 上部にガス噴出口6を有する複数のガス噴出ノズル4をほぼ同一面上に配置し、前記ガス噴出口6の上部に配置される板状部材Wとの間にガス噴出口6からガス3を流し、このガス3の噴出量および圧力を制御して、板状部材Wとガス噴出口6との間に負圧を発生させるようにして板状部材Wを非接触で保持するようにした。
請求項（抜粋）：
上部にガス噴出口を有する複数のガス噴出ノズルをほぼ同一面上に配置し、前記ガス噴出口の上部に配置される板状部材との間にガス噴出口からガスを流し、このガスの噴出量および圧力を制御して、板状部材とガス噴出口との間に負圧を発生させるようにして板状部材を非接触で保持するようにしたことを特徴とする板状部材保持装置。
IPC (4件)：
B65G 49/07
, B23Q 3/08
, G01B 11/30
, H01L 21/68
B65G 49/07 H
, B23Q 3/08 Z
, G01B 11/30 D
, H01L 21/68 N
