特許
J-GLOBAL ID：200903016288982758
磁気抵抗素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-247274
公開番号（公開出願番号）：特開平5-090659
出願日： 1991年09月26日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：
【要約】【目的】 薄膜磁気抵抗素子に於いて、薄く、機械的強度と表面硬度が大きく、アルカリや塩素の混入がなく、ガラスやセラミックまたニッケル合金との密着性がよく、更に安価で簡単に成膜できる保護膜を提供することを目的とする。【構成】 基板11表面に形成されたニッケル合金の強磁性薄膜12と、前記強磁性薄膜12を保護する保護膜15から構成されるものであり、まず基板11上にパターンを形成したニッケル合金と、基板表面に窒素原子を含むカップリング剤からなるアンダーコート膜14を形成して、その上より金属アルコキシドを主原料とする無機高分子コーティング材からなる保護膜15を成膜する。
請求項（抜粋）：
基板の表面に形成されたニッケル合金の強磁性薄膜と、前記強磁性薄膜を保護する保護膜とを備え、前記保護膜は金属アルコキシドを主原料とする無機高分子コーティング材からなることを特徴とする磁気抵抗素子。
IPC (4件)：
H01L 43/08
, G01B 7/00
, G01D 5/245
, G01R 33/06
