放電型ガス浄化装置およびガスの浄化方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：猪股祥晃 , 猪股弘子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-104380
公開番号（公開出願番号）：特開2005-288239
出願日： 2004年03月31日
公開日（公表日）： 2005年10月20日
要約：

【課題】不純物として固体状あるいは液体状の微小物体(以下、微粒子という)を含むガスから微粒子を除去して浄化することのできる放電型ガス浄化装置およびガスの浄化方法を提供する。【解決手段】対向配置された実効面積の異なる電極2a,2bと、前記電極に電圧を印加して前記電極間に高周波放電を発生させる高周波電源1と、前記電極間に微粒子を含むガスを通流させるガス通流手段とを備えている構成とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

対向配置された実効面積の異なる電極と、前記電極に電圧を印加して前記電極間に高周波放電を発生させる高周波電源と、前記電極間に微粒子を含むガスを通流させるガス通流手段とを備えていることを特徴とする放電型ガス浄化装置。

IPC (9件)：

B01D53/38 , B01J19/08 , B03C3/40 , B03C3/47 , B03C3/60 , B03C3/66 , F01N3/02 , H01T23/00 , H05H1/24

FI (9件)：

B01D53/34 116Z , B01J19/08 E , B03C3/40 A , B03C3/47 , B03C3/60 , B03C3/66 , F01N3/02 301F , H01T23/00 , H05H1/24

Fターム (31件)：

3G090AA06 , 4D002AB02 , 4D002AC10 , 4D002BA05 , 4D002BA07 , 4D002BA14 , 4D002CA11 , 4D002EA01 , 4D054AA03 , 4D054BA02 , 4D054BC02 , 4D054BC22 , 4D054CB02 , 4G075AA03 , 4G075AA27 , 4G075AA37 , 4G075BA08 , 4G075BB04 , 4G075BD05 , 4G075CA15 , 4G075DA02 , 4G075DA03 , 4G075EA02 , 4G075EB42 , 4G075EC21 , 4G075EC25 , 4G075EE12 , 4G075FA01 , 4G075FB01 , 4G075FB02 , 4G075FC11

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