光学デバイス及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：遠山勉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-161407
公開番号（公開出願番号）：特開平5-173003
出願日： 1992年06月19日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：

【要約】【目的】光学材料の表面に少なくとも1つの凸弧面、凹弧面を一体に形成する。【構成】光学材料40から成る光学デバイスの表面上に形成されたフォトレジスト膜に、フォトリソグラフィー法によって少なくとも1つの凸弧面(凹弧面)42を形成し、該表面及びフォトレジスト膜を連続的または段階的にエッチングして、フォトレジスト膜の凸弧面(凹弧面)に類似した少なくとも1つの凸弧面(凹弧面)を該表面に形成する。光学材料を鏡面研磨した場合は研磨にフォトレジスト膜を形成し、研磨面及びフォトレジスト膜を均一にエッチングする。

請求項（抜粋）：