研磨量測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-029342
公開番号（公開出願番号）：特開平10-229060
出願日： 1997年02月13日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：

【要約】【課題】従来のトルク変動や振動、静電容量を用いる方法は、本来不要なストップ層の形成や配線が必要になるという問題が有り、また、精度が十分でないという問題や、研磨面内での研磨速度にむらがある場合に部分的に研磨が不十分にもかかわらず研磨の終点と判定してしまうという問題があった。【解決手段】本発明の研磨量測定装置は、研磨量測定装置は、定盤3上に配置した研磨布4上に被研磨物1を接触させ、かつ相対運動させることによって、被研磨物1を研磨する装置に用いられる研磨量測定装置であって、被研磨物1の研磨布4と接触する研磨面へ照明光を供給し、所定のスポット径を有する光スポットを形成する照明光学系と、対物レンズを含む観察光学系と、観察光学系に関して研磨面とほぼ共役な面に配置され光スポットが形成された領域の研磨面の変化を検出する2次元センサ17と、2次元センサ17から出力される研磨面の変化に応じた信号の変化から研磨面が平坦になったことを検出する平坦検出手段24と、を有する。

請求項（抜粋）：

定盤上に配置した研磨布上に被研磨物を接触させ、かつ相対運動させることによって、被研磨物を研磨する装置に用いられる研磨量測定装置であって、前記被研磨物の前記研磨布と接触する研磨面へ照明光を供給し、所定のスポット径を有する光スポットを形成する照明光学系と、対物レンズを含む観察光学系と、前記観察光学系に関して前記研磨面とほぼ共役な面に配置され前記光スポットが形成された領域の研磨面の変化を検出する2次元センサと、前記2次元センサから出力される前記研磨面の変化に応じた信号の変化から前記研磨面が平坦になったことを検出する平坦検出手段と、を有することを特徴とする研磨量測定装置。

IPC (8件)：

H01L 21/304 321 , H01L 21/304 , B23Q 17/24 , B24B 49/04 , B24B 49/12 , G01B 11/00 , G01B 11/02 , G01B 11/30 101

FI (8件)：

H01L 21/304 321 E , H01L 21/304 321 M , B23Q 17/24 A , B24B 49/04 Z , B24B 49/12 , G01B 11/00 F , G01B 11/02 G , G01B 11/30 101 A

前のページに戻る