特許

J-GLOBAL ID：200903016309651226

結晶の面方位測定方法及び装置

発明者： 畑中 秀和 ,  森重 幸雄
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-031001
公開番号（公開出願番号）：特開平9-222391
出願日： 1996年02月19日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：

【要約】【課題】 レーザ光を使った簡単な装置構成により、大型、高コストのX線装置や高価な分光器を用いることなく結晶方位を測定することが可能で従来に比し低コストの、結晶の面方位測定方法および装置を提供する。【解決手段】 本発明の測定装置は、異方性弾性体では伝搬方向によって弾性波の伝搬速度が異なることに基づき伝搬時間の回転角度依存性を検出し結晶方位を知るための装置であって、結晶の表面に照射するパルスレーザ光を発生するためのレーザ発振器と、結晶を載せ回転するステージと、結晶の表面から発生する弾性波を測定する検出器と、レーザ発振器の出力とステージの回転角度とを制御し弾性波検出器の出力を検出するためのコンピュータとからなる。

請求項（抜粋）：

結晶の面方位測定方法において、結晶の表面に照射するためのパルスレーザを発振器において発生させ、前記結晶をステージに載せて回転し、前記結晶の表面から発生する弾性波を検出器により検出し、コンピュータにより、前記レーザ発振器の出力と前記ステージの回転角度とを制御し、かつ前記弾性波検出器の出力を検出することを特徴とする、結晶の面方位測定方法。

IPC (3件)：

G01N 21/00 ,  G01N 29/00 501 ,  G01N 29/18

FI (3件)：

G01N 21/00 A ,  G01N 29/00 501 ,  G01N 29/18