特許

J-GLOBAL ID：200903016320995840

基板液切り装置

発明者： 波多 澄樹
出願人/特許権者： 株式会社カイジョー
代理人 (1件)： 羽切 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-286561
公開番号（公開出願番号）：特開平9-102479
出願日： 1995年10月06日
公開日（公表日）： 1997年04月15日
要約：

【要約】【課題】 薬液処理を施された基板について、これに付着した薬液を基板全面にわたって均一に除去し得ると共に、経済的にも優れた装置を提供すること。【解決手段】 基板1を、例えば前段の処理槽から後段の処理槽に向けて搬送中に仮想水平面30に対して傾斜させ、以て、該基板に付着している薬液をこの傾斜に基づく重力の作用によって滴下せしめて除去することとし、上記の効果を得る。

請求項（抜粋）：

基板を略水平にして担持して搬送しかつ搬送路の所定位置で停止させ得る搬送手段と、該所定位置に達した基板を該搬送手段上から離脱させかつ仮想水平面に対して傾斜させ、再び該搬送手段上に載置する傾斜手段とを備えていることを特徴とする基板液切り装置。

IPC (6件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 351 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

H01L 21/304 341 C ,  H01L 21/304 351 C ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/306 J