特許
J-GLOBAL ID：200903016322190262
イオン源
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
猪股 祥晃
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-266050
公開番号（公開出願番号）：特開平5-109364
出願日： 1991年10月15日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：
【要約】【目的】良好なイオンビーム特性を有し、かつ耐電圧特性を向上し、製作コストを低減する。【構成】プラズマ生成部の開口部側に装着し電界を形成する電極板25Aを、モリブデン板から形成され、同一位置にそれぞれビーム引出孔3を設けると共に対向する面にそれぞれ半円状の溝28a,28bを設けた基板27a,27bに、冷却管5を挟み込みロー付け等により一体に接合した構成とする。
請求項（抜粋）：
プラズマ生成部の開口部側に電極板を装着し、イオンまたは電子を引出す電界を発生させるようにしたイオン源において、前記電極板を、モリブデン材で形成した基板に、耐食性を有する材料よりなり冷却または加熱する媒体の流通路を形成する管状体が埋設されるようにしたことを特徴とするイオン源。
IPC (2件)：
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