3次元原子配列観察方法及び装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-133652
公開番号（公開出願番号）：特開平10-321176
出願日： 1991年05月15日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：

【要約】【課題】薄膜試料における原子配列を原子1個のレベルで3次元的に観察し、かつ原子種をも識別することにより、結晶中の点欠陥や不純物原子の存在状態を直接明らかにする。【解決手段】加速電圧が200kV以上の電界放射型電子銃8を持つ走査透過電子顕微鏡装置に、ナノメーターオーダーでの試料微動制御及びミリラディアンオーダーでの試料傾斜制御が可能な試料微動・傾斜機構12,マルチチャネル型の電子線検出器13,およびそれらの制御用ソフトと3次元画像処理用ソフトとを搭載した計算機14をシステム化構成し、試料傾斜角度θの異なる複数の2次元原子配列投影像6を取得し、これら複数の画像データを画像処理して、精度の高い3次元原子配列構造を構築する。【効果】ULSI素子における界面やコンタクト等の接合部,あるいは基板や薄膜中に存在する点欠陥,不純物原子等を直接観察できるので、電流リークや,耐圧不良等の素子不良の原因を高精度で解析できる。

請求項（抜粋）：

電界放射型電子銃,照射系電子レンズ,電子線走査用偏向コイル,試料微動・傾斜機構,電子線検出器および制御用ソフトと画像処理用ソフトを搭載した計算機よりなる走査透過電子顕微鏡を用いた3次元原子配列観察装置であって、薄膜試料に走査電子線を照射した時の透過電子あるいは散乱電子により上記薄膜試料の2次元原子配列像を取得する手段と、この2次元原子配列像を上記薄膜試料の傾斜角を変えながら複数像取得する手段と、この複数の2次元原子配列像を画像処理して3次元原子配列像を構築する手段と、を具備してなることを特徴とする3次元原子配列観察装置。

IPC (6件)：

H01J 37/22 502 , G01N 23/04 , G01N 23/20 , H01J 37/20 , H01J 37/244 , H01J 37/28

FI (6件)：

H01J 37/22 502 H , G01N 23/04 , G01N 23/20 , H01J 37/20 D , H01J 37/244 , H01J 37/28 C

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