特許

J-GLOBAL ID：200903016324170161

光学素子、光学系、レーザ装置、露光装置、マスク検査装置、及び高分子結晶の加工装置

発明者： 三輪 聡
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2004003820
公開番号（公開出願番号）：WO2004-086121
出願日： 2004年03月22日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：

シリンドリカルレンズ11a、11bの母線方向は光軸に直交しており、かつそれぞれ直交している。これにより、シリンドリカルレンズ11aと、11bを組み合わせた光学系は、球面レンズと同じ光学的作用を果たすことができる。各レンズはシリンドリカルレンズであるため、母線方向に移動させても光軸のずれが発生しないという特徴を有する。例えば、レンズの損傷が顕著になってきた場合、図示しない移動機構、例えばマイクロメータ付きステージによりレンズを母線方向(矢印方向)に移動し、未使用部分を使用することによりレーザ装置の長寿命化をはかることができる。

請求項（抜粋）：

複数のシリンドリカルレンズからなり、当該シリンドリカルレンズは、それらの母線方向が交差するように配置され、かつ、その各々がそれぞれの母線方向に移動可能とされていることを特徴とする光学素子。

IPC (3件)：

G02F 1/37 ,  B23K 26/00 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G02F1/37 ,  B23K26/00 G ,  H01L21/30 515B

Fターム (18件)：

2K002AA07 ,  2K002AB12 ,  2K002BA01 ,  2K002CA02 ,  2K002EA30 ,  2K002EB15 ,  2K002GA05 ,  2K002HA20 ,  4E068CC02 ,  4E068CD08 ,  4E068CD14 ,  4E068DB07 ,  5F046BA04 ,  5F046CA04 ,  5F046CA07 ,  5F046CB12 ,  5F046CB22 ,  5F046DA01