特許

J-GLOBAL ID：200903016325580843

ポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び電子部品

発明者： 田鎖 寿紀
出願人/特許権者： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-321330
公開番号（公開出願番号）：特開2004-157248
出願日： 2002年11月05日
公開日（公表日）： 2004年06月03日
要約：

【課題】酸条件下で脱離可能な保護基にてアルカリ可溶性基を保護した溶解性変換剤にカルボニル基を導入することで、溶解性変換剤とポリオキサゾール前駆体又はポリイミド前駆体との相互作用を強めることによって、前記問題を解決し、しかも接着性、耐熱性に富んだポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)分子末端に熱で重合しうる官能基を持つ有機基を有するポリオキサゾール前駆体又はポリイミド前駆体、(B)放射線照射により酸を発生する化合物、(C)酸触媒作用で分解し水素原子に変換し得る有機基を有する化合物を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物。【選択図】 なし。

請求項（抜粋）：

(A)分子末端に熱で重合しうる官能基を持つ有機基を有するポリオキサゾール前駆体又はポリイミド前駆体、(B)放射線照射により酸を発生する化合物、(C)酸触媒作用で分解し水素原子に変換し得る有機基を有する化合物を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F7/039 ,  C08G73/06 ,  G03F7/037 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

FI (6件)：

G03F7/039 601 ,  C08G73/06 ,  G03F7/037 ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R ,  H01L21/30 575

Fターム (66件)：

2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD03 ,  2H025BC69 ,  2H025BC70 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA14 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096BA09 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096EA03 ,  2H096EA06 ,  2H096EA07 ,  2H096FA01 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096JA03 ,  2H096JA04 ,  4J043PA02 ,  4J043PB22 ,  4J043QB34 ,  4J043RA34 ,  4J043RA52 ,  4J043SA06 ,  4J043SA71 ,  4J043TA12 ,  4J043UA022 ,  4J043UA041 ,  4J043UA042 ,  4J043UA061 ,  4J043UA062 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA162 ,  4J043UA262 ,  4J043UB021 ,  4J043UB022 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB151 ,  4J043UB152 ,  4J043UB281 ,  4J043UB291 ,  4J043UB302 ,  4J043XA16 ,  4J043XB07 ,  4J043YA10 ,  4J043ZB22 ,  5F046NA19