特許

J-GLOBAL ID：200903016332635602

形状測定装置

発明者： 井関 敏之
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 高野 明近 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-088589
公開番号（公開出願番号）：特開平9-280834
出願日： 1996年04月10日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】【課題】 オペレータの勘と経験に頼らずに走査速度を自動的に設定し、測定効率を向上させる。【解決手段】 制御・演算手段6は、オペレータが走査速度を設定すると、コントローラドライバ4aに対して設定した走査速度に応じた速度パラメータを出力し、Xステージ2aは設定した走査速度で走査を開始する。これと同時に非接触変位計1と被測定物7の表面との距離を一定に保ちながら倣い動作をするようにYステージ2bを動作させる。被測定面の曲率半径及び/又は傾斜角度から速度パラメータを自動的に求め、適正な走査速度を自動的に設定する。

請求項（抜粋）：

非接触変位計を形状測定用プローブとして用い、該非接触変位計の出力を用いて、被測定物表面を倣い動作させ、動作軌跡を測定することによって被測定面の形状を間接的に測定する形状測定装置において、前記非接触変位計の走査速度を、前記被測定面の曲率の関数とすることを特徴とする形状測定装置。