特許
J-GLOBAL ID：200903016335898213
金属多層膜蒸着用メタルマスク
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-173725
公開番号（公開出願番号）：特開平9-025561
出願日： 1995年07月10日
公開日（公表日）： 1997年01月28日
要約：
【要約】【課題】 金属多層膜蒸着用メタルマスクの蒸着中の熱膨張による反りの増大を抑制し、メタルマスクの基板上パターン面への接触によるキズの発生及び多層膜形成位置のずれによるパターン不良の発生を防止する。【解決手段】 基板5のウェーハパターン面と対向するメタルマスク1の面側に熱膨張率が小さい合成樹脂4を、その反対面側に熱膨張率が大きい合成樹脂3を、それぞれコーティングする。合成樹脂4の中央部が基板5に接触しないように、メタルマスク1を基板5上に配置し、メタルマスク1及び基板5の各両端をクリップ6で固定する。
請求項（抜粋）：
マスク両面に、熱膨張率を異にする合成樹脂をコーティングすることを特徴とする金属多層膜蒸着用メタルマスク。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/04 A
, H01L 21/285 M
