特許

J-GLOBAL ID：200903016337627217

吐出ノズル及び塗布液塗布装置

発明者： 金岡 雅 ,  田口 隆志
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-019232
公開番号（公開出願番号）：特開平11-219880
出願日： 1998年01月30日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：

【要約】【課題】 高粘度の塗布液であっても円滑に吐出することができる吐出ノズルを提供する。【解決手段】 塗布液を吐出する吐出ノズルであって、塗布液を供給される供給口13cと、供給口13cに連通した貯留空間13dと、貯留空間13dに連通し、塗布液を吐出するスリット状の吐出孔13aとを有し、吐出孔13aの長軸方向に貯留空間13dの縦断面を末広がり状に形成し、かつ、吐出孔13aの短軸方向に貯留空間13dの縦断面を先細り状に形成した。高粘度の塗布液であっても塗布液を吐出孔13aの長軸方向の両端部および吐出孔13aの短軸方向にも行き渡らせることができる。

請求項（抜粋）：

塗布液を吐出する吐出ノズルであって、塗布液を供給される供給口と、前記供給口に連通した貯留空間と、前記貯留空間に連通し、塗布液を吐出するスリット状の吐出孔とを有し、前記吐出孔の長軸方向に貯留空間の縦断面を末広がり状に形成し、かつ、前記吐出孔の短軸方向に貯留空間の縦断面を先細り状に形成してあることを特徴とする吐出ノズル。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  B05C 5/00 ,  B05C 11/08 ,  B05D 1/40 ,  G03F 7/16 502

FI (5件)：

H01L 21/30 564 C ,  B05C 5/00 Z ,  B05C 11/08 ,  B05D 1/40 A ,  G03F 7/16 502