特許
J-GLOBAL ID：200903016341207087
投影露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-008311
公開番号（公開出願番号）：特開平5-198475
出願日： 1992年01月21日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【目的】 容易に且つ高速でベストフォーカス条件を決定することを目的とする。【構成】 光源1から発せられた照明光は集光レンズ2を介してマスク3の焦点合わせ用パターン8を通過した後、投影レンズ4を介してウエハ5に至り、ウエハ5で反射して再びマスク3の焦点合わせ用パターン8を通過する。その後、照明光はハーフミラー6で反射されてセンサ7に入射し、ここで光量が検出される。
請求項（抜粋）：
照明光を発する光源と、遮光部分と透過部分とが交互に繰り返し配列された焦点合わせ用パターンが形成されたマスクと、前記光源から発した照明光を前記マスク上に照射させる集光レンズと、前記マスクを通過した照明光をウエハ表面に集光させる投影レンズと、前記マスクの焦点合わせ用パターンを通過した後にウエハ表面で反射して再び前記マスクの焦点合わせ用パターンを通過した照明光の光量を検出するセンサとを備えたことを特徴とする投影露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
, G03F 7/207
H01L 21/30 311 L
, H01L 21/30 311 S
