特許
J-GLOBAL ID：200903016346092008
カンチレバー及びこれを用いた加熱装置、並びにこれを用いた加熱・形状計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-022078
公開番号（公開出願番号）：特開平8-327634
出願日： 1996年01月12日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：
【要約】【課題】 試料の原子、分子オーダーの微小領域を局所的に加熱可能とする。【解決手段】 カンチレバーは、支持体1と、支持体1に一端が支持された可撓性プレート2と、可撓性プレート2の先端側領域に設けられた探針3と、を備える。このカンチレバーは、探針3の先端部を加熱する発熱体4を更に有する。
請求項（抜粋）：
支持体と、該支持体に一端が支持された可撓性プレートと、該可撓性プレートの先端側領域に設けられた探針と、を備えたカンチレバーにおいて、前記探針の先端部を加熱する発熱体を設けたことを特徴とするカンチレバー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 A
, G01B 21/30 Z
