特許

J-GLOBAL ID：200903016356715550

オートマチックテストハンドラー

発明者： マーク ウォルター クラッグ ,  トーマス エドワード トス ,  セオドア チャールズ ゲンサー ,  マーチン トワイト ,  釣島 和幸 ,  谷 充晃 ,  馬場 念 ,  櫻田 照明
出願人/特許権者： シン-テク システムズ インコーポレイティド ,  株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 佐藤 隆久 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-349937
公開番号（公開出願番号）：特開平6-043212
出願日： 1992年12月02日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 様々なカスタマ-トレイの構成に対応でき、内部で自動的にICをテストする。【構成】 テストハンドラ-20は、カスタマ-トレイマガジン入力エリア28とロ-ドセクション、ソ-クチャンバ-68、テストセクション48、アンソ-クチャンバ-78、アンロ-ドエリア64a、64b等で構成される。エレベ-タ-機構38はマガジン内部でカスタマ-トレイ34を、テストハンドラ-のロ-ダ-50がアクセスできる位置へ上げる。ピックアンドプレイス装置72、74、76はロ-ドステ-ジ上のカスタマ-トレイからICデバイスを取り出して整列の為のプリサイサ-へ移し、その後テストトレイ48へ移動させる。テスト結果に従いトランスファ-ア-ム40はカスタマ-トレイを様々なトレイマガジンへ移す。

請求項（抜粋）：

トレイに集積回路が並べられ、そのようなトレイをマガジン内に複数積み重ねて、その集積回路をテストするオ-トマチックテストハンドラ-において、上記トレイを含むマガジンを1つ以上受け取り、テストの為に上記集積回路を上記トレイに並べるマガジン入力エリアと、上記マガジンから上記トレイを、テストする上記集積回路にアクセスする為の位置へ移動させる為のロ-ダ-と、周回路中を移動するように配置された複数のテストトレイと、上記トレイから上記テストトレイへ集積回路を移動させる為の第1のピックアンドプレイス機構と、上記周回路中に構成され上記テストトレイを受入れてそのテストトレイ上にある集積回路をテストする為の少なくとも1個のテストチェンバ-と、そのテストの後そのテストの結果に基づいて上記集積回路を分類する第2ピックアンドプレイス機構と、分類した集積回路を有するトレイを移動し、上記マガジンへ上記テスト結果に従って返却する為のアンロ-ダ-とにより構成されることを特徴とするオ-トマチックテストハンドラ-。

IPC (3件)：

G01R 31/26 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平1-178877
  
• 特開昭62-169062
  
• 特開昭63-229837
  
• 特開昭63-265439
  
• 特開平2-129566